濕度傳感器的濕敏元件分為 電阻式 和 電容式 兩種。
濕敏電阻的特點(diǎn)是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜,當(dāng)空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時(shí),元件的電阻率和電阻值都發(fā)生變化,利用這一特性即可測(cè)量濕度。
濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的,常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亞胺、酪酸醋酸纖維等。當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí),濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化,使其電容量也發(fā)生變化,其電容變化量與相對(duì)濕度成正比。
常見(jiàn)的濕度測(cè)量方法有:動(dòng)態(tài)法(雙壓法、雙溫法、分流法),靜態(tài)法(飽和鹽法、硫酸法),露點(diǎn)法,干濕球法和形形色色的電子式傳感器法。
動(dòng)態(tài)法測(cè)量
這里雙壓法、雙溫法是基于熱力學(xué) P、V、T 平衡原理,平衡時(shí)間較長(zhǎng),分流法是基于絕對(duì)濕氣和絕對(duì)干空氣的精確混合。由于采用了現(xiàn)代測(cè)控手段,這些設(shè)備可以做得相當(dāng)精密,卻因設(shè)備復(fù)雜,昂貴,運(yùn)作費(fèi)時(shí)費(fèi)工,主要作為標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量之用,其測(cè)量精度可達(dá) ±2% RH -±1.5% RH。
靜態(tài)法測(cè)量
靜態(tài)法中的飽和鹽法,是濕度測(cè)量中最常見(jiàn)的方法,簡(jiǎn)單易行。但飽和鹽法對(duì)液、氣兩相的平衡要求很?chē)?yán),對(duì)環(huán)境溫度的穩(wěn)定要求較高。用起來(lái)要求等很長(zhǎng)時(shí)間去平衡,低濕點(diǎn)要求更長(zhǎng)。特別在室內(nèi)濕度和瓶?jī)?nèi)濕度差值較大時(shí),每次開(kāi)啟都需要平衡 6~8 小時(shí)。
露點(diǎn)法測(cè)量
露點(diǎn)法是測(cè)量濕空氣達(dá)到飽和時(shí)的溫度,是熱力學(xué)的直接結(jié)果,準(zhǔn)確度高,測(cè)量范圍寬。計(jì)量用的精密露點(diǎn)儀準(zhǔn)確度可達(dá) ±0.2℃甚至更高。但用現(xiàn)代光 — 電原理的冷鏡式露點(diǎn)儀價(jià)格昂貴,常和標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器配套使用。
干濕法測(cè)量
干濕球法,這是 18 世紀(jì)就發(fā)明的測(cè)濕方法。歷史悠久,使用最普遍。干濕球法是一種間接方法,它用干濕球方程換算出濕度值,而此方程是有條件的:即在濕球附近的風(fēng)速必需達(dá)到 2.5m / s 以上。普通用的干濕球溫度計(jì)將此條件簡(jiǎn)化了,所以其準(zhǔn)確度只有 5~7% RH, 明顯低于電子濕度傳感器。顯然干濕球也不屬于靜態(tài)法,不要簡(jiǎn)單地認(rèn)為只要提高兩支溫度計(jì)的測(cè)量精度就等于提高了濕度計(jì)的測(cè)量精度。
子式濕敏傳感器的準(zhǔn)確度可達(dá) 2-3% RH,這比干濕球測(cè)濕精度高。
濕敏元件的線(xiàn)性度及抗污染性差,在檢測(cè)環(huán)境濕度時(shí),濕敏元件要長(zhǎng)期暴露在待測(cè)環(huán)境中,很容易被污染而影響其測(cè)量精度及長(zhǎng)期穩(wěn)定性。這方面沒(méi)有干濕球測(cè)濕方法好。
溫濕度傳感器的選型
選擇溫濕度傳感器有以下注意 的事項(xiàng):
?、龠x擇測(cè)量范圍
和測(cè)量重量、溫度一樣,選擇濕度傳感器首先要確定測(cè)量范圍。除了氣象、科研部門(mén)外,搞溫、濕度測(cè)控的一般不需要全濕程 (0-100% RH) 測(cè)量。
?、谶x擇測(cè)量精度
測(cè)量精度是濕度傳感器最重要的指標(biāo),每提高 — 個(gè)百分點(diǎn),對(duì)濕度傳感器來(lái)說(shuō)就是上一個(gè)臺(tái)階,甚至是上一個(gè)檔次。因?yàn)橐_(dá)到不同的精度,其制造成本相差很大,售價(jià)也相差甚遠(yuǎn)。所以使用者一定要量體裁衣,不宜盲目追求“高、精、尖”。如在不同溫度下使用濕度傳感器,其示值還要考慮溫度漂移的影響。
眾所周知,相對(duì)濕度是溫度的函數(shù),溫度嚴(yán)重地影響著指定空間內(nèi)的相對(duì)濕度。溫度每變化 0.1℃。將產(chǎn)生 0.5% RH 的濕度變化 (誤差)。使用場(chǎng)合如果難以做到恒溫,則提出過(guò)高的測(cè)濕精度是不合適的。多數(shù)情況下,如果沒(méi)有精確的控溫手段,或者被測(cè)空間是非密封的,±5% RH 的精度就足夠了。
對(duì)于要求精確控制恒溫、恒濕的局部空間,或者需要隨時(shí)跟蹤記錄濕度變化的場(chǎng)合,再選用 ±3% RH 以上精度的濕度傳感器。而精度高于 ±2% RH 的要求恐怕連校準(zhǔn)傳感器的標(biāo)準(zhǔn)濕度發(fā)生器也難以做到,更何況傳感器自身了。相對(duì)濕度測(cè)量?jī)x表,即使在 20—25℃下,要達(dá)到 2% RH 的準(zhǔn)確度仍是很困難的。通常產(chǎn)品資料中給出的特性是在常溫(20℃±10℃)和潔凈的氣體中測(cè)量的。
?、劭紤]時(shí)漂和溫漂
在實(shí)際使用中,由于塵土、油污及有害氣體的影響,使用時(shí)間一長(zhǎng),電子式濕度傳器會(huì)產(chǎn)生老化,精度下降,電子式濕度傳感器年漂移量一般都在 ±2% 左右,甚至更高。一般情況下,生產(chǎn)廠(chǎng)商會(huì)標(biāo)明 1 次標(biāo)定的有效使用時(shí)間為 1 年或 2 年,到期需重新標(biāo)定。
?、芷渌⒁馐马?xiàng)
濕度傳感器是非密封性的,為保護(hù)測(cè)量的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定性,應(yīng)盡量避免在酸性、堿性及含有機(jī)溶劑的氣氛中使用。也避免在粉塵較大的環(huán)境中使用。
為正確反映欲測(cè)空間的濕度,還應(yīng)避免將傳感器安放在離墻壁太近或空氣不流通的死角處。如果被測(cè)的房間太大,就應(yīng)放置多個(gè)傳感器。
有的濕度傳感器對(duì)供電電源要求比較高,否則將影響測(cè)量精度?;蛘邆鞲衅髦g相互干擾,甚至無(wú)法工作。使用時(shí)應(yīng)按照技術(shù)要求提供合適的、符合精度要求的供電電源。
傳感器需要進(jìn)行遠(yuǎn)距離信號(hào)傳輸時(shí),要注意信號(hào)的衰減問(wèn)題。當(dāng)傳輸距離超過(guò) 200m 以上時(shí),建議選用電流輸出信號(hào)的濕度傳感器。
未來(lái)的溫濕度傳感器市場(chǎng)尤其是在消費(fèi)電子及物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域擁有廣闊前景。體積小、功耗小、成本低、集成度高的 IC 半導(dǎo)體溫濕度傳感器的產(chǎn)品,將得到更大的推廣應(yīng)用。